Yuqori-tozalikdagi azot integral mikrosxemalar, yarimoʻtkazgichlar va vakuumli elektron qurilmalar ishlab chiqarishda himoya va tashuvchi gaz sifatida ishlatiladi; kimyoviy bug'larni cho'ktirishda tashuvchi gaz sifatida xizmat qiladi; u gazni suyuqlik diffuziya manbalarida olib yuradi; va u yuqori haroratli diffuziyali pechlar-da ishlaydigan qurilmalar uchun himoya gaz vazifasini bajaradi.
Yuqori{0}}tozalikdagi azot epitaksiya, fotolitografiya, tozalash va bug'lanish kabi jarayonlarda o'zgartirish, quritish, saqlash va tashish uchun gaz sifatida ishlatiladi. Katodli trubkalarni ishlab chiqarishda 99,99% yoki undan yuqori azot tozaligi talab qilinadi. Aerokosmik texnologiyada suyuq vodorod yonilg'i quyish tizimlari birinchi navbatda yuqori-tozalikdagi azot, so'ngra yuqori-tozalikdagi geliy bilan tozalanishi kerak.
2025-yil dekabr oyida Bozorni tartibga solish davlat boshqarmasi yuqori{1}}tozalikdagi azot uchun milliy standart materialni tasdiqladi va chiqardi, u yarimo‘tkazgichli qurilmalarni ishlab chiqarishda tozalash, o‘yma va cho‘ktirish kabi asosiy jarayonlarda, shuningdek, integral mikrosxemalar ishlab chiqarishda fotolitografiya, ion implantatsiyasi va oksidlanish kabi jarayonlarda qo‘llaniladi.